1)工业气体管道的干管,应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道且明敷,如敷设在技术夹层、技术夹道内时,应采取良好的通风措施。引入洁净的支管宜明敷。

  3)穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道,应敷设在预埋套管内,套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。

  4)氢气和氧气管道的末端或最高点宜设放散管。放散管应高出屋脊 1m,并应设在防雷保护区内。

  5)气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体统一计划的要求进行选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。

  6)气体过滤器应根据生产工艺对气体含尘量的要求进行选择。高纯气体管道应装设高效气体过滤器。

  ④管道与设备的连接段,宜采用金属管道:如为非金属软管时,宜采用聚四氟乙烯管聚乙烯管.不得采用乳胶管。

  2)高纯气体管道应采用密封性能好的低门和附件,其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯材料。

  3)高纯气体管道与附件连接的密封垫,应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。

  2)管道与设备、阀门的连接处,宜采用法兰、螺纹或其他密封性能优良的连接件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。

  3)高纯性气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前,应进行清洗脱脂等预处理。

  3)各种气瓶应集中设置在洁净厂房外,当日用气量不超过一瓶时,气瓶可设置在洁净室内。

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